Rollenofen Siliziumwafer Atmosphäre schützt Testofenrolle

Rollenofen Siliziumwafer Atmosphäre schützt Testofenrolle

Ausrüstung Anwendung: hauptsächlich Silizium-Wafer (156x156x0.2mm) für die Oxidation und staubfreie Produktion Experiment erzeugen

Erzeugnisse Detail

Beschreibungvon diesemRollenofen Siliziumwafer Atmosphäre schützt Testofenrolle
 
1.equipment name: Siliziumwafer Atmosphäre Schutz experimenteller Rollenofen
2.equipment Anwendung: hauptsächlich Silizium-Wafer (156x156x0.2mm) für die Oxidation und staubfreie Produktion Experiment erzeugen
 
Parametervon diesemRollenofen Siliziumwafer Atmosphäre schützt Testofenrolle
 
3.1 Ofengröße: 1380 × 500 × 100 (L × B × H) mm
3.2 Gesamtgröße: 1980 × 1500 × 1100 (L × B × H) mm
3.3 Bemessungstemperatur: 1300 ℃
3.4 Betriebstemperatur: 1000 ℃
3.5 Temperaturregelgenauigkeit: ≤ ± 2 ℃
3.6 Temperaturdifferenz im Ofen: ≤ ± 5 ℃
3.7 Temperatur außerhalb des Ofens: ≤ ± 40 ℃
3.8 Anzahl der Temperaturkontrollgruppen: 3 Temperatursteuertabellen in 3 Temperaturzonen
3.9 Arbeitsgeschwindigkeit: Berechnung des gesamten Ofens nach 5min, 400 mm / min,
3.10 Geschwindigkeitsregelbereich: 120 ~ 700 mm / min,
3.11 Heizmethode: elektrische Heizung, der obere Teil der Ofenanlage
Heizelement: Silizium-Kohlenstoff-Stab, obere Montag
3,13 Heizleistung: 36 kW
3.14 Isolationsleistung: 25 kW
Heizlänge: 1080mm
Ofenausmauerung Material: Korund Material wird als Ofenkammer in dem Ofen der gesamten Ausrüstung angenommen
3,17 Dämmmaterial: leichte Isolierung Ziegel und Faser Baumwolle
3,18 Isolationspegel: bottom 330mm, 350mm auf beiden Seiten und von oben 400mm
3.19 Schaltschrank: unabhängige automatische Steuerung
3.20 Ausrüstung Struktur: 1-Abschnitt
3.21 Kühlbetrieb: natürliche Kühlung
3,22 Übertragungsart: 45 ° Kegelradgetriebes
3.23 Drehzahl: Stufenlos Frequenzumwandlungssteuer
3.24 Einlass Kategorie: Stickstoff und Sauerstoff
 
Bildervon diesemRollenofen Siliziumwafer Atmosphäre schützt Testofenrolle
 
Roller furnace silicon wafer atmosphere test protects roller furnace
Rollenofen Siliziumwafer Atmosphäre schützt Testofenrolle

 

Rollenofen Siliziumwafer Atmosphäre schützt Testofenrolle

 

 

 

 

 

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